高温でも半導体が性能発揮できるか検査する

ニデック傘下のニデックアドバンステクノロジー(京都府向日市)は、半導体の性能試験でシリコン基板の温度を測る新装置「TCプローブカード」を開発した。最高でセ氏200度まで計測できる。車載半導体や電圧を制御するパワー半導体の製造時に100度以上の高温下で性能を発揮できるか調べるために使う。

シリコン基板上に形成した回路と今回の装置をつないで、半導体が正常に作動しているかを検査する。ニデックアドバンステクノロジーは子会社を通じてこうした半導体向けの計測装置を手がけている。

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