次世代半導体の国産化を目指し、北海道千歳市に工場を建設中のラピダス（東京）は１８日、極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置を初めて搬入し、設置作業を開始したと発表した。同装置は半導体回路の微細化に不可欠で、来年４月の試作ライン稼働に向けた準備は最終段階に入った。【時事通信映像センター】

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