SCREEN､工業用水の管理ソフト導入　水･薬液の使用抑制

ソフトを活用して工業水の使用量を細かく管理する（SCREENホールディングスの彦根事業所、滋賀県彦根市）

SCREENホールディングス（HD）は24日、半導体製造装置を生産している彦根事業所（滋賀県彦根市）の工業用水を一元管理する専用ソフトウエアを導入すると発表した。半導体の性能向上に合わせて製造装置自体も高度化している。装置の組み立て工程で用いる水や薬液の量も増えており、環境対応の観点からもソフトを生かして抑制する。

水管理ソフトは工場全体の水の流れを可視化する。どの工程でどれだけ水が使われているかや排水に含まれる薬液の種類などが細かく把握できる。

ソフト内では水の使用量を減らしたり薬液を変更したりといったシミュレーションができる。その結果を生かして節水につなげたい考えだ。SCREENHDの国内の主な6事業所では年間合計200万立方メートル（20億リットル）ほど取水している。

水管理ソフトは米スタートアップのFTDソリューションズが開発した。彦根事業所では2023年10月から試験的に水管理ソフトを導入していた。このたびソフトの精度が向上したとして半導体の生産工程全体に導入していく。