エア・ウォーターは26日、ラピダスが北海道千歳市で建設する半導体工場向けに、関連装置を受注したと発表した。「CMP（化学的・機械的研磨）スラリー調合・供給システム」と呼ばれる装置で、半導体ウエハーの研磨材を半導体製造装置に供給するのに使う。1台あたり数億円で、受注台数については明らかにしていない。
子会社のエア・ウォーター・メカトロニクス（神奈川県平塚市）が製造・販売する。ラピダスの新工場は製造工程の自動化を特徴としており、エア・ウォーターはそれに対応して工程の一部を自動化する機能を追加した。
ラピダスでは自動運転や人工知能（AI）に採用される最先端半導体の量産をめざしている。2025年4月に試作ラインを稼働、27年には量産を予定している。
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